Das junge Spin-off zweier Max-Planck-Institute und der Universität in Göttingen bedient sich dafür der Erzeugung und Anwendung von Mikroflüssig­keiten: 10-100 Mikrometer dünne Strahlen werden unter hohem Druck durch ein Düse gepresst. Der so entstehen­de, über mehrere Zentimeter stabile Mikro­flüssig­keitsstrahl bleibt auch im Vakuum stabil! Derzeit relevantestes Medium ist mit Hilfe einer Kühltechnik verflüssigtes Xenon. Bei der Fokussierung eines Leis­tungs­­starken Lasers auf diesen Flüssig-Xenonstrahl wird ein Plasma generiert, welches Strahlung im Bereich von 13,5 nm emittiert. Dabei werden Xenon­atome mehrfach ionisiert, die emittierte Strahlung resultiert aus verschiedenen elektronischen Über­gängen in den Atomrümpfen. Mit Hilfe dieser kurzen Wellenlängen ist es nun möglich, 10-fach kleinere Strukturen auf integrierten Schaltkreisen abzubilden. Doch nicht nur Xenon eignet sich als sog. Target für die Erzeugung kurzwelliger Strahlung. Je nach verwendetem Medium lassen sich Wellenlängen zwischen 2 und 20 nm erzeugen.

Neben der EUV-Lithographie finden sich weitere interessante Anwendungen dieser Technolo­gie in der Röntgen-Mikroskopie und der Röntgen-Spektroskopie. Mikroflüssig­keiten werden außerdem in der Analytik von Biomolekülen und in der Erzeugung von monodispersen Nanopartikeln eingesetzt.

Microliquids ist Mitglied im PhotonicNet, dem niedersächsischen Kompetenz­netz für Optische Technologien, und wird seine Technologie auf dem Gemein­schaftsstand der Kompetenznetze unter dem Dach von OptecNet Deutschland - Halle 3, Stand C 60 / 63 - präsentieren.