Inhalt und Zielsetzung:

Mikrosystemtechnik gilt als eine der wichtigsten Schlüsseltechnologien für die Wettbewerbsfähigkeit der deutschen Wirtschaft. Die gesamte Sensorik – insbesondere in den Branchen Automotive, Maschinenbau, Kommunikations- und Nachrichtentechnik sowie Bio- / Medizintechnik – profi tiert davon. Aber was genau ist Mikrosystemtechnik? Nutzen Sie die Möglichkeit, einen fundierten Einblick in Anwendungen, Märkte und grundlegende Fertigungstechniken zu erhalten. Darüber hinaus bekommen Sie die Gelegenheit, Basistechnologien im Sinne des Wortes „zu begreifen“: Sie können in unserem modernen Reinraum echte „hands-on“-Erfahrungen sammeln und ausgewählte Prozesse zur Herstellung von Siliziumsensoren selbst durchführen. Im Gespräch mit den Praktikern im Labor wird oft unmittelbar klar, was in der Theorie nur als abstrakte Information vermittelt werden kann.

Das Seminar zeigt die Herausforderungen und Erfolgsfaktoren der Mikrosystemtechnik sowie zahlreiche Anwendungsbeispiele aus diversen Märkten auch unter Betrachtung von Wirtschaftlichkeitsfaktoren auf. Weiter werden Basistechniken zur Herstellung mikromechanischer Sensoren behandelt. Nach einer Einführung in die verschiedenen Technologiefamilien werden die verschiedenen Kerntechnologien wie Volumen-, Oberfl ächenmikromechanik, Lithographie und weitere Einzelprozesse beleuchtet.

Im Seminarteil zur Lithografi e wird auf wesentliche chemischpyhsikalische Grundlagen, gebräuchliche Resistsysteme sowie typische Anwendungsbeispiele aus der Silizium- und LIGA-Technologie eingegangen. Darüber hinaus lernen Sie verschiedene Messsysteme kennen – darunter optisches und mechanisches Profi lometer, Rasterelektronenmikroskop (REM), Röntgenmikroanalyse (EDX) sowie Atomic Force Microscope (AFM).

Nach einer kurzen Einführung in die Aufbau- und Verbindungstechnik wird das Prinzip eines piezoresistiven Silizium-Drucksensors erläutert. Ausgewählte Prozessschritte zur Herstellung eines Silizium-Drucksensors, ein typisches Produkt der Volumenmikromechanik, stehen dann auch im Mittelpunkt des Praxismoduls am zweiten Seminartag. Die Teilnehmer werden in Kleingruppen typische Einzelschritte der Sensorherstellung selbst durchführen und können somit ein unmittelbares Gefühl für die zugrunde liegenden Prozesse und das Arbeiten in einem Reinraum erfahren. So fi ndet das theoretisch Gelernte unmittelbaren Praxisbezug.

EUR 1.450,00 zzgl. MwSt. (AMA Mitglieder EUR 1.300,00) für Kursgebühr, Seminarunterlagen, Mittagessen, Pausengetränke, Besuch Sternenwarte, Abendessen (ohne Getränke). Bargeldlose Zahlung nach Erhalt der Rechnung. Der Erhalt der Rechnung beinhaltet die Teilnahmebestätigung.

Seminarort:

Fachhochschule Kaiserslautern, Campus Zweibrücken Wegbeschreibung: http://pro.mst.fh-kl.de/kontakt.php Wir werden Hinweisschilder für die Veranstaltung im Sitzungsraum G203 aufstellen.