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VUV und XUV neue Chancen für die Vermessung von Mikrosystemen
| Datum |
05.10.2005 von 10:30 bis 16:30 |
|---|---|
| Ort | Laser Laboratorium Göttingen, Hans-Adolf-Krebs-Weg 1, 37077 Göttingen |
| Kontakt | Herr Dr. Künzel |
| kuenzel@vdivde-it.de | |
| Telefon | 03328 435-286 |
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Seit einigen Jahren unternehmen einige Firmen und Forschungseinrichtungen große Anstrengungen zur wirtschaftlichen Nutzbarmachung von Strahlung mit extrem kurzen Wellenlängen (VUV, XUV). Das Hauptanwendungsgebiet wird in der Fertigung von Nanoelektronik gesehen. Gleichzeitig zeichnen sich aber weitere Anwendungspotentiale ab. Das betrifft beispielsweise die Messtechnik. Kurze Wellenlängen eröffnen die Möglichkeit, die physikalischen Grenzen optischer Messsysteme insbesondere bei der Vermessung von kleinsten Strukturen signifikant nach unten zu verschieben. Die Teilnahme ist kostenfrei. Zur Einleitung werden in einigen Vorträgen verschiedene aktuelle Aktivitäten vorgestellt. Bis zum 12.08.2005 besteht die Möglichkeit, weitere Vorträge anzumelden. Da die Anzahl der Teilnehmer begrenzt ist, bitten wir Sie um rechtzeitige Anmeldung. Sie erhalten per E-Mail eine Anmeldebestätigung und weitere Informationen. Downloads: Tagesordnung Einladung Wegbeschreibung Diese Veranstaltung wird organisiert in Kooperation mit: MST (Landesinitiative Mikrosystemtechnik Niedersachsen)