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22. - 25. Mai 2012
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Forum Innovative Oberflächen - Vorträge
- Begrüßung, A. Simon (BMBF, Ref. 512)
- "Beschichtungsverfahren für die Präzisionoptik", H. Hagedorn (Leybold Optics GmbH, Alzenau)
- "BMBF-Verbundprojekt 'EIKon' - Ionenstrahl-Sputtern", M. Scherer (Leybold Optics GmbH, Alzenau)
- "Ionenquellen für das IBS", M. Zeuner (Roth & Rau AG, Wüstenbrand)
- "Neue IBS-Prozesskonzepte", T. Groß (Laser Zentrum Hannover e.V.)
- "BMBF-Verbundprojekt 'IPOHS' - Magnetron-Sputtern", M. Vergöhl (Fraunhofer IST, Braunschweig)
- "Innovative Beschichtungskonzepte für die Herstellung optischer Schichten", H. Liepack (FHR Anlagenbau GmbH, Ottendorf-Okrilla)
- "In-situ Monitorierung und Kontrolle der Abscheidung präzisionsoptischer Schichten", U. Richter (Sentech Instruments GmbH, Berlin)
- "Prozessoptimierung von Sputterprozessen mit Hilfe von Simulationsrechnungen", A. Pflug (Fraunhofer IST, Braunschweig)
- "Aktivitäten des Projektträgers PFT", Dr. J. Fuchs (PTKA, Karlsruhe)
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